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图2、铅诱导界面弱化的理论与实验验证。(a)PTO/STO(左)与BTO/STO(右)界面的电荷转移DFT模拟(蓝色:电荷流失,红色:电荷富集)。(b)PTO薄膜从STO衬底剥离的三种裂纹模式:应力层脱层(上)、界面剥离(中)、衬底碎裂(下)。(c)剥离后STO衬底表面的原子力显微镜(AFM)图像,均方根粗糙度(RMS)为0.51 nm。(d)剥离PTO薄膜的电子背散射衍射(EBSD)取向分布图(上)与晶向偏差统计(下),峰值接近0°,半高宽0.38°。(e)剥离窗口的理论预测:仅当界面能低于薄膜和衬底表面能时,可实现精准剥离(PTO/STO案例)。(f)BTO/STO因界面能高,仅能通过衬底碎裂或应力层脱层剥离。© 2023 Springer Nature